的设备稳定性
可调节为传动齿轮速率:0.5-3m/min标准开机运行进程:2.5m/min产能利用率: Up to 4000/6800/8000 Wafers/H@20mm仪器有效地合理使用效率:≥98%漫反射率:≤16%魂晶率:≤0.03%硅片规格
硅片体积尺寸:≥140 μm硅片厚度:156.75*156.75mm-212*212mm设备尺寸
长*宽*高:5060*2250*2120mm长*宽*高:3710*2650*2120mm长*宽*高:3810*3050*2200mm作业尺寸:965mm/1515mm/1911mm高速传输相对高度:1000±25mm版块涂料:PP,PVDF传动
方向
操作角度:Left→Right / Right→Left(TBD)电力供应
供电设备:AC380V 3PH+PE+N 50Hz(TBD)把握电源适配器:DC 24V过载开关电源:25A/48A意见与建议最明显保险费用丝年纪:48A/63A安装要求
较小房屋地面承重力度:750Kg/㎡保底生产加工极高:3.5m脱尘室档次:ISO7(10K Class)情况热度:17℃<RT<30℃大温度:70%