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链式清洗机5道/8道/10道

链式清洗机5道/8道/10道

主要功能:

的设备稳定性

可调节为传动齿轮速率:0.5-3m/min标准开机运行进程:2.5m/min产能利用率: Up to 4000/6800/8000 Wafers/H@20mm仪器有效地合理使用效率:≥98%漫反射率:≤16%魂晶率:≤0.03% 

硅片规格

硅片体积尺寸:≥140 μm硅片厚度:156.75*156.75mm-212*212mm 

设备尺寸 

长*宽*高:5060*2250*2120mm长*宽*高:3710*2650*2120mm长*宽*高:3810*3050*2200mm作业尺寸:965mm/1515mm/1911mm高速传输相对高度:1000±25mm版块涂料:PP,PVDF 

传动

传动系统分类:5 lane/8 lane/10 lane轴距离:50mm/60mm主传动齿轮轴:17mm,Hexagon机械传动滑轮:Φ32mm 

方向

操作角度:Left→Right  / Right→Left(TBD) 

电力供应

供电设备:AC380V 3PH+PE+N 50Hz(TBD)把握电源适配器:DC 24V过载开关电源:25A/48A意见与建议最明显保险费用丝年纪:48A/63A 

安装要求

较小房屋地面承重力度:750Kg/㎡保底生产加工极高:3.5m脱尘室档次:ISO7(10K Class)情况热度:17℃<RT<30℃大温度:70%




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