hg1088皇冠

设备性能

调节传动链极限速度：0.5-3m/min普通启用进程：2.5m/min产销量： Up to 4000 Wafers/H@20mm           Up to 6800 Wafers/H@20mm           Up to 8000 Wafers/H@20mm设备很好的进行率：≥98%刻蚀深度的面积：3.5~4.5μm泥石率：≤0.03% 

硅片规格

硅片尺寸：≥140μm硅片长宽高：156.75*156.75mm-212*212mm 

设备尺寸 

长*宽*高：跟据电机选型确立规格 

传动

传动链多种类型：5 lane/6 lane轴间隙：60mm主传动齿轮轴：17mm,Hexagon传动链压轮：Φ32mm 

趋势

工作的导向：Left→Right  / Right→Left（TBD） 

电力供应

共电：AC380V 3PH+PE+N 50Hz（TBD）调控24v电源：DC 24V载满供电：75A意见建议最明显保费丝尺寸规格：100A 

安装要求

不大路面载重：75Kg/㎡最低的产线超高：3.5m没有灰尘室阶段：ISO7(10K Class)坏境溫度：17℃＜RT＜30℃很大含水率：70%