槽式异质结制绒清洗机

主要功能:
使用避开硅片单单从表皮杂质残渣，在硅片单单从表皮演变成胡夫金字塔反绒，大大减少硅片单单从表皮的反射面率。

0512-66163090

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设备性能

产销量： Up to 8000 wafers/hour主设备很好使用率：≥97%灵魂碎片率：M12≤0.01%

硅片规格

硅片机的薄厚：≥160 μm硅片寸尺：182*182-230*230mm花蓝性质：Low-surface carrier （LSC）made by PVDF鲜花花束片差距：4.76mm花蓝体积：100 wafers

机械臂系统

机诫臂：8 sets伺服线束步进马达：16 PC抬起时：Less than 22 sec

设备尺寸

长*宽*高：27300*3200*2650mm

方向

工做方面：Left→Right / Right→Left（TBD）

电力供应

供电系统：AC380V 3PH+PE+N 50Hz（TBD）管理主机电源：DC 24V高速行驶电源开关：230KW/175KW可以上限商业保险丝产品规格：225A/135A

安装要求

最高面承重力度：750Kg/㎡低些车间管理高：3.5m脱尘室级别划分：ISO7(10K Class)生态水温：17℃＜RT＜30℃最明显内部含水率：70%